Тензосопротивление как источник информации о параметре анизотропии подвижности <i>K = μ<sub>⊥</sub>/μ<sub>||</sub></i> в многодолинных полупроводниках и некоторые новые возможности деформационной метрологии

Аннотация

УДК 621.315.592

 

В многодолинных слаболегированных полупроводниковых монокристаллах n‑Ge и n‑Si методом тензосопротивления исследована анизотропия подвижности основных носителей заряда при Т = 77,4К, и при указанных условиях получены значения параметра анизотропии подвижности: K = μ|| = 15,6 – в n‑Ge и K = 5,89 – в n‑Si.

 

Ключевые слова: кремний, германий, тензосопротивление, параметр анизотропии подвижности.

PDF