Аннотация
УДК 621.315.592
DOI https://doi.org/10.52577/eom.2026.62.2.61
Описываются термодинамические условия получения кремния с нанокластерами примесных атомов селена без эрозии его поверхности с заданными электрофизическими параметрами. Показаны возможности получения образцов кремния с нанокластерами атомов селена при управлении давлением паров диффузанта. Установлено, что концентрация и размеры образованных нанокластеров примесных атомов в кремнии зависят от термодинамических условий и технологических режимов диффузии. Доказано, что примесные атомы селена в кремнии образуют нанокластеры, состоящие из четырех или шести атомов, которые значительно влияют на электрофизические и фотоэлектрические свойства кремния. Показаны возможности применения полученных образцов кремния, легированных примесными атомами селена, при создании полупроводниковых приборов с термостабильными и радиационно-стойкими параметрами.
Ключевые слова: кремний, полупроводник, примесь, селен, температура, нанокластер, диффузия.