Аннотация
УДК 537.539
DOI https://doi.org/10.52577/eom.2026.62.2.56
Приведены результаты компьютерного моделирования рассеяния ионов Ar+ от ступенчатой поверхности InP(001)<ī10> при разных значениях угла падения с помощью метода аппроксимации бинарных столкновений. Получена зависимость энергии рассеянных ионов от угла их рассеяния и показано, что при малых углах падения наблюдается рассеяние от идеальной части поверхности. Увеличение угла падения приводит к рассеянию ионов от атомной ступеньки, смоделированной на поверхности. Установлено, что при рассеянии от ступенчатой поверхности в зависимости Е(θ) рассеянных ионов наблюдаются овалы, соответствующие многократному рассеянию при одном и том же угле рассеяния. Кроме того, получены энергетические спектры, подтверждающие, что с увеличением угла падения ионов появляются пики, соответствующие зеркально рассеянным, рассеянным от торцевого атома и деканалированным ионам.
Ключевые слова: рассеяние ионов, деканалирование, компьютерное моделирование, дефекты.