Аннотация
УДК 621.793.1
Приведены результаты исследования состава, текстуры, остаточных напряжений, микротвердости вакуумно-дуговых карбонитридтитановых покрытий, осажденных из сепарированных плазменных потоков в зависимости от технологических параметров осаждения и соотношения компонентов реакционной газовой среды.
Ключевые слова: вакуумно-дуговое осаждение, карбонитридтитановые покрытия, сепарация, текстура, микротвердость, остаточные напряжения.