Формирование рельефа поверхности многослойной нанопериодической структуры Ge<sub>5</sub>As<sub >37</sub>S<sub>58</sub>/Se, индуцированное электронным облучением
Том 61 № 2 (2025), Содержание
Том 61 № 2 (2025)

Формирование рельефа поверхности многослойной нанопериодической структуры Ge<sub>5</sub>As<sub >37</sub>S<sub>58</sub>/Se, индуцированное электронным облучением

  • Сергеев С.А.
  • Мешалкин А.Ю.
  • Стронский А.В.
  • Паюк О.П.
  • Тридух Г.М.
  • Кожокару И.А.
Сергеев С.А.
Мешалкин А.Ю.
Стронский А.В.
Паюк О.П.
Тридух Г.М.
Кожокару И.А.

Аннотация

УДК 621.9.048.7

DOI  DOI https://doi.org/10.52577/eom.2025.61.2.18

 

В многослойной нанопериодической структуре (МНС) Ge5As37S58/Se осуществлена электронно-лучевая запись растровых рисунков. Поверхность МНС Ge5As37S58/Se, образованная группой пикселей, изучалась в атомном силовом микроскопе. Установлен вклад массопереноса в формирование объемных пикселей, образующих рельеф поверхности данной МНС. Обнаружено, что быстрое перемещения пучка электронов между заданными точечными областями облучения приводит к образованию на поверхности МНС линий в виде гребней.

 

Ключевые слова: электронно-лучевая запись, многослойная нанопериодическая структура, пленки халькогенидов, профиль поверхностного рельефа.

PDF