Аннотация
УДК 621.365(075.6)
DOI https://doi.org/10.5281/zenodo.3640390
Предложено использование импульсного пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм и частотой повторения 15 Гц для формирования отверстий диаметром до 0,1 мм в неметаллических подложках: кремнии, керамике и др. Моделированием в MathCAD и COMSOL Multiphysics установлено, что значение половинного угла раствора светового конуса, которое зависит от фокусировки лазерного излучения, оказывает значительное влияние на глубину и диаметр отверстий при лазерной обработке. Исследовано влияние режимов лазерной обработки наносекундным и пикосекундными лазерами с длинами волн 1064 и 532 нм на конусообразность и время формирования отверстий в кремниевых подложках. Предварительный нагрев подложки до 170–200ºС сокращает время выполнения отверстий на 20%.
Ключевые слова: лазерное излучение, неметаллические подложки, кремний, отверстия.