Аннотация
УДК 621.793.14
Нанокристаллические пленки ZnO были сформированы методом ионно-стимулированного импульсного лазерного осаждения. Исследовано влияние значения соотношения ион/атом на структурные, морфологические и электрофизические параметры нанокристаллических пленок ZnO. Установлено, что при ионном воздействии на тонкие нанокристаллические пленки ZnO существенно изменяются их кристаллическое строение и электрофизические свойства. Показано, что режимами ионной стимуляции возможно контролировать средний диаметр зерен в диапазоне от 75,4 ± 2,0 до 79,1 ± 2,0 нм, шероховатость поверхности в диапазоне от 2,14 ± 1,11 до 7,30 ± 1,25 нм, а также удельное сопротивление и подвижность в диапазоне от (22,6 ± 2)×10-4 до (33,6 ± 2)×10-4 Ом∙см и от 28,21 ± 4,60 до 71,92 ± 2,50 см2/(В∙с) соответственно.
Ключевые слова: нанотехнологии, нанокристаллические пленки, оксид цинка, импульсное лазерное осаждение, ионная стимуляция, соотношение ион/атом, атомно-силовая микроскопия, электрофизические свойства.