ИССЛЕДОВАНИЕ ЭРОЗИИ КАТОДА В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЧИСЛЕННЫМ МЕТОДОМ
Том 38 № 4 (2002), Содержание
Том 38 № 4 (2002)

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭРОЗИИ КАТОДА В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЧИСЛЕННЫМ МЕТОДОМ

В.Ф. Соколов
Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса, 7, г. Иваново, 153460, Россия
Ю.А. Соколова
Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса, 7, г. Иваново, 153460, Россия

Аннотация

Correlation between discharge parameters and a profile of the target sputtered in a DC planar magnetron system is studied. With simulation procedure the best conditions are determined for uniform cathode erosion.

article_2