ИССЛЕДОВАНИЕ ЭРОЗИИ КАТОДА В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЧИСЛЕННЫМ МЕТОДОМ

В.Ф. Соколов; Ю.А. Соколова

Vol. 38 Nr. 4 (2002), Conținut

Vol. 38 Nr. 4 (2002)

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭРОЗИИ КАТОДА В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЧИСЛЕННЫМ МЕТОДОМ

В.Ф. Соколов⁺⁻
Ю.А. Соколова⁺⁻

В.Ф. Соколов

Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса, 7, г. Иваново, 153460, Россия

Ю.А. Соколова

Ивановский государственный химико-технологический университет, пр. Ф. Энгельса, 7, г. Иваново, 153460, Россия

Rezumat

Correlation between discharge parameters and a profile of the target sputtered in a DC planar magnetron system is studied. With simulation procedure the best conditions are determined for uniform cathode erosion.

article_2 (Русский)