Экспериментальные исследования электроразрядного датчика низкого давления

Аннотация

УДК 537.58

 

DOI  https://doi.org/10.5281/zenodo.1049058

 

Проанализированы ионизационные процессы в азотно-кислородной плазме низкого давления (10-3 Па < p < 1 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Приведена методика расчета ВАХ, по которой однозначно находится давление в газе. Сравнение теории с экспериментом удовлетворительное.

 

Ключевые слова: ион, электрон, датчик, ионизация, вольт-амперная характеристика, давление.

PDF