Развитие современных вакуумных технологий получения покрытий

Аннотация

УДК 621.793.164

 

Рассмотрены современные технологии вакуумного напыления и газофазного осаждения химических соединений для защиты поверхности изделий, в частности пиролитического осаждения карбидохромовых покрытий с использованием в качестве прекурсора металлоорганических соединений.

 

Ключевые слова: вакуумное напыление, газофазное осаждение химических соединений, пиролитичеcкие карбидохромовые покрытия.

PDF