ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КИСЛОРОДА С ПОВЕРХНОСТЬЮ КРЕМНИЯ
Том 40 № 1 (2004), Содержание
Том 40 № 1 (2004)

ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КИСЛОРОДА С ПОВЕРХНОСТЬЮ КРЕМНИЯ

А.С. Сафаров
Ташкентский государственный технический университет им. А.Р. Беруни, ул. Университетская, 2, г. Ташкент, 700095, Узбекистан
Б.А. Абдуллаев
Ташкентский государственный технический университет им. А.Р. Беруни, ул. Университетская, 2, г. Ташкент, 700095, Узбекистан
Д.М. Шукурова
Ташкентский государственный технический университет им. А.Р. Беруни, ул. Университетская, 2, г. Ташкент, 700095, Узбекистан

Аннотация

Interaction between oxygen and the surface of silicon is analyzed.

article_14