Аннотация
УДК 535.421
DOI https://doi.org/10.5281/zenodo.4299754
Изучены дифракционные картины, продуцируемые рельефными структурами, состоящими из двух идентичных скрещенных наложенных дифракционных решеток, сформированных в пленках As2S3 с помощью электронно-лучевой записи с последующим химическим травлением. Угол взаимной ориентации дифракционных решеток с периодом 2 мкм изменялся в пределах от 2 до 90°. Для расчета дифракционных картин, продуцируемых парами скрещенных решеток, рассматривались дополнительные дифракционные решетки, сформированные узлами пересечения линий основных решеток. Дифракционная структура с круговой симметрией, состоящая из четырех скрещенных наложенных решеток с равными периодами, рассмотрена как комбинация пар скрещенных наложенных решеток. Получено хорошее совпадение рассчитанных и экспериментально наблюдаемых дифракционных картин.
Ключевые слова: скрещенные решетки, угол между решетками, узлы пересечения линий, дифракционная картина.