Аннотация
УДК 537.58
DOI https://doi.or/10.5281/zenodo.1053785
Излагаются результаты численного анализа ионизационных процессов в азотно-кислородной плазме низкого давления (1 Па < p < 10-3 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Исследуются траектории и столкновительные ионизационные процессы, на основании которых рассчитывается размер ионизационной зоны. Вычисленные траектории и размер ионизационной зоны позволяют выбрать оптимальные характеристики датчика.
Ключевые слова: ион, электрон, датчик, ионизация, давление, численное моделирование.