Аннотация
УДК 539.216.2:621.9.048.7
Приведены результаты исследования влияния импульсного лазерного излучения на морфологию поверхности и некоторые электрофизические свойства толстых плёнок на основе Ni3B, полученных методом трафаретной печати композиционных паст на диэлектрическую подложку. Воздействие импульсов наносекундной длительности способствует измельчению частиц проводящей фазы, в то время как при обработке импульсами микросекундной длительности сохраняется распределение проводящей фазы по всей поверхности. Облучение импульсами миллисекундной длительности при энергиях Е = 0,4–0,6 Дж приводит к оплавлению поверхности. Приведены вольт-амперные характеристики и зависимости электросопротивления от температуры. Лазерная обработка образцов в нано- и микросекундном диапазонах способствует работе резисторов согласно стандарту и техническим условиям, когда реализуется линейная зависимость тока от напряжения.
Ключевые слова: толстые пленки, структура поверхности, лазерная обработка, электрофизические свойства.