Аннотация
УДК 621.9.047.4
Цель исследования – изучение текстурирования поверхности поликристаллического кремния, используя для травления смешанный раствор из гидроксида натрия (NaOH) и гипохлорита натрия (NaClO). Скорость реакции было проще контролировать благодаря присутствию гипохлорита натрия в качестве окислителя. Преимущество такого вида травления в том, что можно добиться однородного текстурирования поверхности поликристаллического кремния с меньшей высотой ступени и менее явным очерчиванием межзеренных границ. Оптимальный эффект светового клапана достигается на поверхности поликристаллического кремния в результате травления смешанным NaOH/NaOCl раствором в соотно-шении 1:4, при содержании NaOH в размере 20%. При оптимальных условиях травления средняя отражате-льная способность текстурированной поверхности поликристаллического кремния большой площади (156´156 мм2) может быть 10% и меньше.
Ключевые слова: поликристаллический кремний, текстурирование с использованием раствора NaOH/NaOCl, отражательная способность.