Аннотация
УДК 621.382:537.525
Приводятся результаты исследований эффекта загрузки при воздействии низкотемпературной плазмы воздуха на поверхность пленки полипропилена (ПП). Состав стабильных продуктов в газовой фазе выясняли методом масс-спектрометрии. Методом компенсации зондового тока в цепи двух электростатических зондов определяли продольную напряженность электрического поля. Измерялись интенсивности излучения ряда полос N2, NO, CO, линий атомарного кислорода и водорода. На основе эмиссионно-спектральных измерений находили вращательную и эффективную колебательную температуру молекул N2(С3Πu), эффективную колебательную температуру NO(A2Σ). Методом численного решения кинетического уравнения Больцмана рассчитывалась функция распределения электронов по энергиям. Опыты показали повышение напряженности электрического поля в присутствии образца полимера на 10% и незначительное изменение температуры газа на оси реактора. Уже малая загрузка реактора пленкой ПП ведет к заметному уменьшению интенсивности излучения линий атомарного кислорода и полос N2, NO. С ростом степени загрузки реактора полимером изменяется соотношение между основными продуктами окислительной деструкции ПП – CO2, CO, H2O, H2. Расчеты функции распределения электронов по энергиям позволили проанализировать влияние продуктов гетерогенных реакций на константы скоростей процессов с участием электронов. Газообразные продукты травления полимера оказывают существенное влияние на электрофизические параметры разряда, кинетические закономерности плазмохимического травления. И это необходимо учитывать при дальнейших исследованиях и разработке новых технологий плазмохимической обработки полимеров.
Ключевые слова: эффект загрузки, плазма воздуха, плазмохимическое травление, газообразные продукты, приведенная напряженность электрического поля, колебательная и вращательная температура молекулярного азота, кинетика.