КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕСТОВОЙ МАТРИЦЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПЛЕНОЧНЫХ ТОКОПРОВОДЯЩИХ СИСТЕМ

Аннотация

The drop-in and geometry design photomask for testing metallization of VLSI was constructed on base experimental investigation of construction and technology especially of array testing.

article_14