←
Вернуться к Подробностям о статье
КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧА- ЕМОГО АММОНОЛИЗОМ ДИХЛОРСИЛАНА В РЕАКТОРЕ ПОНИ- ЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ СТАБИЛЬНОСТИ И ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ
Скачать